- Индукционные катушки, изготовленные путем обмотки или фотолитографии (с электрическими или магнитными индукторами), датчики вихревого тока и короткозамкнутые кольцевые датчики.
- Flux-Gate-зонды (Metglas и пр.) для измерения магнитного поля.
- Датчики скачка импульса (Wiegand).
- Проволочные (безиндуктивные) резисторы.
- Пленочные резисторы (шихтованные на пластиковом носителе).
- Металлокерамические резисторы.
- Тонкослойная и толстослойная технология (особенно сопротивления и емкости).
- Полупроводниковая технология (моно- или поликристаллические резисторы, предохранительные слои, зарядонакопительные ячейки и пр.), электроника для подготовки сигнала: Si (биполярный, CMOS, BICMOS, EEPROM), GaAs.
- Микромеханика (кремний и прочие материалы, например, кварц, металл (LIGA-технология) и пр.).
- Пьезокерамика.
- Пьезопленка.
- Изолирующая керамика как материал пружинного механизма (например, мембрана датчика давления).
- Керамический твердый электролит (например, как кислородный зонд).
- Кварц и прочие пьезоэлектрические кристаллы.
- Оптические световолокна или пластины из стекла или пластика.
[Информация опубликована на веб-сайте: www.SKODABOOK.ru]
Матрица, изображенная на рисунке 32, показывает, к каким технологиям датчиков нужно обращаться для реализации различных задач. Если, например, есть потребность в реализации небольшого размера, высокой надежности и высокой точности, следует обратиться к тонкослойной технологии, если она соответствует необходимому диапазону измерений.
Рис. 32. Выбор технологии датчика